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研發(fā)制造臺車(chē)式工業(yè)電爐、臺車(chē)式熱處理爐 | ![]() |
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臺州75kw長(cháng)方形退火爐勝利調試完工發(fā)布日期:2020-6-17 類(lèi)別:公司新聞 瀏覽量: 3094 次 臺車(chē)75kw長(cháng)方形退火爐勝利調試完工
退火爐是在半導體器件制造中使用的一種工藝,其包括加熱多個(gè)半導體晶片以影響其電性能。熱處理是針對不同的效果而設計的?梢约訜峋约せ顡诫s劑,將薄膜轉換成薄膜或將薄膜轉換成晶片襯底界面,使致密沉積的薄膜,改變生長(cháng)的薄膜的狀態(tài),修復注入的損傷,移動(dòng)摻雜劑或將摻雜劑從一個(gè)薄膜轉移到另一個(gè)薄膜或從薄膜進(jìn)入晶圓襯底。 |
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